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MEMS压力传感器
MEMS压力传感器技术最为成熟的是硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。安培龙采用的硅压阻式压力传感器的核心是将电阻条集成在单晶硅膜片上，形成惠斯通电桥，制成硅压阻芯片。从而实现力-电转换。硅压阻式压力传感器也叫扩散硅压力传感器。
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