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产品特点 / Product  features

气体质量流量传感器可对洁净、干燥气体进行热式质量流量测量，为医疗设备、燃料电池和工业控制提供稳定的实时流量信号。

产品参数/ Product  parameters

● 量       程：0–200 / 1000 / 2000 / 3000 / 4000 sccm / 10 SLM     

● 精       度：0–25% F.S.：±1% F.S.；

                    25–100% F.S.：±4% Reading                                   

● 重复性： 0.1% F.S.            

● 零点输出：模拟1±0.05V；

     数字 156–356                                          

● 零点漂移：≤0.2% F.S./年                                 

● 响应时间：典型 5 ms                                 

● 供电电压：模拟版：6–16 VDC(推荐 10 V)；

     I²C 数字版：4.75–16 VDC(推荐 10 V) 

● 供电电流：26mA(最大)                                  

● 输出方式：模拟 1–5 V 线性电压输出；

                    I²C 数字输出     

● 分辨率：14 Bit                             

● 工作温度：-25–85 ℃    

● 储存温度：-40–90 ℃                     

● 标定温度： 0–50 ℃      

● 湿       度：0–100% RH，非凝露                          

● 工作压力：≤25 psi                                 

● 流道材料：碳化硅、环氧树脂、PPE+PE、FR4、硅胶（可选 Parylene C 涂覆）  

产品特点/ Product  features

产品具备高精度、低零点漂移和毫秒级响应的特性，支持线性模拟及数字输出，便于集成到各类紧凑型流量监测与控制系统中。